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　　超聲草莓视频COM无码视频體(40KHZ)發生的反應為物理反應，射頻草莓视频COM无码视频體(13.56MHZ)發生的反應既有物理反應又有化學反應，微波草莓视频COM无码视频體(2.45GHZ)發生的反應為化學反應。超聲草莓视频COM无码视频體清洗對被清潔表麵產生的影響大，因而實際半導體生產應用中大多采用射頻草莓视频COM无码视频體清洗和微波草莓视频COM无码视频體清洗。超聲草莓视频COM无码视频則應用於表麵除膠、毛刺打磨，材料親水等處理方麵，典型的草莓视频COM无码视频體物理清洗工藝是在反應腔體中加入氬氣作為輔助處理的草莓视频COM无码视频體清洗；氬氣本身是惰性氣體，草莓视频COM无码视频體的氬氣不和表麵發生反應，而是通過離子轟擊使表麵清潔。

　　以物理反應為主的草莓视频COM无码视频體清洗，也叫做濺射腐蝕（SPE）或離子銑（IM），其優點在於本身不發生化學反應，清潔表麵不會留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學純淨性,典型的草莓视频COM无码视频體化學清洗工藝是氧氣草莓视频COM无码视频體清洗。通過草莓视频COM无码视频體產生的氧自由基非常活潑，容易與碳氫化合物發生反應，產生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發物，從而去除表麵的汙染物。

　　射頻草莓视频COM无码视频體清洗，通過加入不同的氣體，可以使表麵反應機製中物理反應和化學反應都起重要作用，即反應離子腐蝕或反應離子束腐蝕，兩種清洗可以互相促進，離子轟擊使被清洗表麵產生損傷削弱其化學鍵或者形成原子態，容易吸收反應劑，離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產生反應